Sputtering strømforsyning
-
MSB-serien mellemfrekvens sputtering strømforsyning
RHH-seriens RF-strømforsyninger er baseret på moden RF-genereringsteknologi for at give kunderne en RF-strømforsyning med større effekt, højere præcision og hurtig respons. Med faseindstilling, pulsstyring, digital tuning og andre funktioner. Anvendelsesområder: solcelleindustri, fladskærmsindustri, halvlederindustri, kemisk industri, laboratorium, videnskabelig forskning, fremstilling osv.
Anvendelige processer: plasmaforstærket kemisk dampaflejring (PECVD), plasmaætsning, plasmarensning, radiofrekvensionkilde, plasmadiffusion, plasmapolymerisationssputtering, reaktiv sputtering osv.
-
MSD-seriens sputteringsstrømforsyning
MSD-seriens DC-sputterstrømforsyning anvender virksomhedens kerne-DC-styringssystem kombineret med et fremragende lysbuebehandlingssystem, hvilket giver produktet en meget stabil ydeevne, høj produktpålidelighed, lille lysbueskade og god procesrepeterbarhed. Bruger et kinesisk og engelsk displayinterface, der er nemt at betjene.