RMA-seriens matchere

Kort beskrivelse:

Den kan tilpasses til RLS-serien af RF-strømforsyninger og anvendes i vid udstrækning til plasmaætsning, belægning, plasmarensning, plasmaafgummering og andre processer. Når den bruges alene, kan den bruges sammen med andre producenters RF-strømforsyninger.

Produktdetaljer

Produktmærker

Send e-mail til os

Funktioner

● Fuld digital kontrol, høj matchningsnøjagtighed og kort matchningstid

● Anvender vakuumkondensator, høj pålidelighed og lang levetid

● Kompakt struktur, lille størrelse, nem installation

● Ultrabredt matchningsområde, kan tilpasses til enhver last

● Med manuel/automatisk matchningsfunktion

● Med hold- og forudindstillingsfunktion

● Med kommunikationsfunktion kan den tilsluttes uafhængigt til værtscomputeren for at vise belastningsstatus i realtid

● Brugerdefinerbar outputgrænseflade

Produktdetaljer

Teknisk indeks	Styrespænding: AC220V ± 10%
	Sendeeffekt: 0,5~5 kW
	Frekvens: 2MHz, 13,56MHz, 27,12MHz, 40,68MHz
	Matchingstid: ende til ende < 5S, forudindstillet punkt til matchingpunkt < 0,5 ~ 3S
	Stående bølge: <1,2
	Impedans reel del: 5~200Ω
	Impedans imaginær del: +200~-200j
	RF-udgangsspænding: 4000Vpeak
	RF-udgangsstrøm: 25~40 Arms
	Inputgrænseflade: type N
	Udgangsgrænseflade: kobberstang eller L29
Bemærk: Produktet fortsætter med at innovere, og ydeevnen forbedres løbende. Denne parameterbeskrivelse er kun til reference.