Matchere i RMA-serien

Kort beskrivelse:

Den kan tilpasses til RLS-seriens RF-strømforsyning og bruges i vid udstrækning til plasmaætsning, belægning, plasmarensning, plasmaafslibning og andre processer.Når den bruges alene, kan den bruges sammen med andre producenters RF-strømforsyninger.

Produktdetaljer

Produkt Tags

Send e-mail til os

Funktioner

● Fuld digital kontrol, høj matchningsnøjagtighed og kort matchningstid

● Brug vakuumkondensator, høj pålidelighed og lang levetid

● Kompakt struktur, lille størrelse, nem installation

● Ultrabredt matchende område, kan tilpasses til at passe til enhver belastning

● Med manuel/automatisk matchningsfunktion

● Med hold og forudindstillet funktion

● Med kommunikationsfunktion kan den tilsluttes uafhængigt til værtscomputeren for at vise belastningsstatus i realtid

● Udgangsgrænseflade, der kan tilpasses

Produktdetaljer

Teknisk indeks	Styrespænding: AC220V±10%
	Transmissionseffekt: 0,5~5kW
	Frekvens: 2MHz, 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz
	Matchingstid: ende til ende ＜ 5S, forudindstillet punkt til matchende punkt ＜ 0,5 ~ 3S
	Stående bølge: ＜1.2
	Impedans reel del: 5~200Ω
	Impedans imaginær del: +200~-200j
	RF udgangsspænding: 4000Vpeak
	RF udgangsstrøm: 25~40Arms
	Input interface: type N
	Udgangsgrænseflade: kobberstang eller L29
Bemærk: produktet fortsætter med at innovere, og ydeevnen bliver ved med at forbedres.Denne parameterbeskrivelse er kun til reference.