RF strømforsyning
-
RLS Series RF strømforsyning
RLS-seriens RF-strømforsyning vedtager den nuværende stabile og pålidelige effektforstærker og virksomhedens kerne DC-kontrolsystem, så produktet har meget stabil ydeevne og høj produktpålidelighed.Vedtag kinesisk og engelsk skærmgrænseflade, nem at betjene.Anvendes hovedsageligt i fotovoltaisk industri, fladskærmsindustri, halvlederindustri, kemisk industri, laboratorium, videnskabelig forskning, fremstilling osv.
-
Matchere i RMA-serien
Den kan tilpasses til RLS-seriens RF-strømforsyning og bruges i vid udstrækning til plasmaætsning, belægning, plasmarensning, plasmaafslibning og andre processer.Når den bruges alene, kan den bruges sammen med andre producenters RF-strømforsyninger.
-
RHH Series RF strømforsyning
RHH-seriens RF-strømforsyning er afhængig af moden RF-genereringsteknologi for at give kunderne RF-strømforsyning med større kraft, højere præcision og hurtig respons.Med fase kan indstilles, pulsstyres, digital tuning og andre funktioner.Gældende områder: solcelleindustri, fladskærmsindustri, halvlederindustri, kemisk industri, laboratorium, videnskabelig forskning, fremstilling mv.
Anvendelige processer: plasmaforstærket kemisk dampaflejring (PECVD), plasmaætsning, plasmarensning, radiofrekvent ionkilde, plasmadiffusion, plasmapolymerisationssputtering, reaktiv sputtering osv.