MSB Series Medium Frequency Sputtering Power Supply

Kort beskrivelse:

RHH-seriens RF-strømforsyning er afhængig af moden RF-genereringsteknologi for at give kunderne RF-strømforsyning med større kraft, højere præcision og hurtig respons.Med fase kan indstilles, pulsstyres, digital tuning og andre funktioner.Gældende områder: solcelleindustri, fladskærmsindustri, halvlederindustri, kemisk industri, laboratorium, videnskabelig forskning, fremstilling mv.

Anvendelige processer: plasmaforstærket kemisk dampaflejring (PECVD), plasmaætsning, plasmarensning, radiofrekvent ionkilde, plasmadiffusion, plasmapolymerisationssputtering, reaktiv sputtering osv.

Produktdetaljer

Produkt Tags

Send e-mail til os

Funktioner

● Halvsten og stativmontering

● Vedtag fuld digital kontrol med praktisk og rig betjeningsmenu

● Frekvensindstilling, puls- og pulssynkroniseringsfunktioner

● Med CEX-fasesynkroniseringsfunktion

● Perfekt beskyttelsesfunktion

Produktdetaljer

Input	Indgangsspænding: AC220V±10% 3ΦAC380V±5%(Særlige specifikationer kan tilpasses)
Input	Indgangsfrekvens: 47~63Hz
Produktion	Udgangsfrekvens: 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz
	Indstillingsområde: ±5 %
	Udgangseffekt: 1,5~5kW
	Reguleringsområde for udgangseffekt: 1~100%
	Udgangsimpedans: 50Ω+j0
	Udgangsgrænseflade: type N
	Udgangstilstand: kontinuerlig, puls
	Pulsfrekvens: 100Hz~100kHz
	Driftscyklus: 5~95%
Præstationsindeks	Effektfaktor: 0,98
	Frekvensstabilitetsnøjagtighed: ±0,005 %
	Effektivitet: 75% (ved nominel output)
	Harmonisk: ＜-45dBc
	Omstrejfende: ＜-50dBc
	Ekstern kontrolgrænseflade: analog mængde, kommunikation og synkronisering
	Kommunikationstilstand: Standard RS485 kommunikationsgrænseflade;Valgfri Ether CAT, industriel Ethernet osv.
Bemærk: produktet fortsætter med at innovere, og ydeevnen bliver ved med at forbedres.Denne parameterbeskrivelse er kun til reference.