MSB Series Medium Frequency Sputtering Power Supply
-
MSB Series Medium Frequency Sputtering Power Supply
RHH-seriens RF-strømforsyning er afhængig af moden RF-genereringsteknologi for at give kunderne RF-strømforsyning med større kraft, højere præcision og hurtig respons.Med fase kan indstilles, pulsstyres, digital tuning og andre funktioner.Gældende områder: solcelleindustri, fladskærmsindustri, halvlederindustri, kemisk industri, laboratorium, videnskabelig forskning, fremstilling mv.
Anvendelige processer: plasmaforstærket kemisk dampaflejring (PECVD), plasmaætsning, plasmarensning, radiofrekvent ionkilde, plasmadiffusion, plasmapolymerisationssputtering, reaktiv sputtering osv.