MSB-serien mellemfrekvens sputtering strømforsyning
-
MSB-serien mellemfrekvens sputtering strømforsyning
RHH-seriens RF-strømforsyninger er baseret på moden RF-genereringsteknologi for at give kunderne en RF-strømforsyning med større effekt, højere præcision og hurtig respons. Med faseindstilling, pulsstyring, digital tuning og andre funktioner. Anvendelsesområder: solcelleindustri, fladskærmsindustri, halvlederindustri, kemisk industri, laboratorium, videnskabelig forskning, fremstilling osv.
Anvendelige processer: plasmaforstærket kemisk dampaflejring (PECVD), plasmaætsning, plasmarensning, radiofrekvensionkilde, plasmadiffusion, plasmapolymerisationssputtering, reaktiv sputtering osv.